- 全球微机电系统（MEMS）产业蚀刻和沉积设备供应商Point 35 Microstructures公司，今日在上海宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块，进一步扩展其微机电系统(MEMS) 单晶圆制造memsstar®产品系列。这项新增的技术将确保MEMS器件设计师得到更多的生产选择，同时带来了宽泛的制造工艺窗口和各种工艺控制等等好处，从而使良率得到了最大的提升。
SVR-vHF氧化物释放模块结合现有的memsstar® SVR-Xe 牺牲性汽相释放(SVR)模块，利用无水氢氟蒸汽(aH
- 关键字：
Point 35 Microstructures，SVR，MEMS
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