- KLA-Tencor正式发布最新 SURFmonitor 系统，该模块扩展了业界领先的 Surfscan SP2 无图形表面检测系统，超越了传统的缺陷检测范围，具备监控工艺变化和偏移的能力。SURFmonitor 系统专门用于测量裸晶片或薄膜表面形态变化，而这些变化与多种工艺参数如表面粗糙度、微粒尺寸和温度等均有关联。该系统可在收集缺陷信息的同时，在不到一分钟时间内生成具备亚埃级重复性的详细全晶片参数图，使代工厂能够同时监控工艺变化和缺陷情况。S
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嵌入式系统 单片机 KLA-Tencor SURFmonitor 嵌入式
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