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Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统

  • Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze和监测Monitor)。该系统由Picarro在业界领先的基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。 新的Picarro SAM系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括:•针对Picarro硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题 •Picarro SA
  • 关键字: Picarro  半导体晶圆  
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