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电容式与热式MEMS传感器的部分差异

  • 电容式与热式MEMS传感器的部分差异-对于电容式和热式MEMS传感器来说，两种技术最大的区别在于其不同的传感技术。
  • 关键字： MEMS传感器  电容式  热式  
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热式介绍

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