I. 前言本文旨在解决硅衬底上的污染问题,将讨论三种不同的金属污染。第一个是镍扩散,又称为快速扩散物质[1],它是从晶圆片边缘上的一个污点开始扩散的金属污染。第二个是铬污染,它是从Bulk体区内部扩散到初始氧化膜[2],并在晶圆片上形成了一层较厚的氧化物。第三个是晶圆片边缘周围的不锈钢污染。本文的研究目的是根据金属和图1所示的污染特征找到污染的根源。图1 三个金属污染示例的映射图。从左至右:镍扩散的微掩膜缺陷图;较厚的铬氧化沉积层;晶圆片边缘上不锈钢污染电子晶圆片检测(EWS)映射图AI.&nb
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金属污染 测量 热处理 SPV TXRF
自上世纪六十年代第一台激光器诞生以来,经过几十年的发展,激光加工技术与多个学科相结合形成多个应用技术领域。目前,激光的主要加工技术包括:激光切割、激光焊接、激光打标、激光打孔、激光热处理、激光快速成型、激光涂敷等。激光加工技术是一门综合性的高科技技术,交叉了光学、材料科学、工程、机械制造学、数控技术及电子技术等学科,由于激光固有的四大特性,被广泛地应用于工业、农业、国防、医学以及科学实验等诸多行业。
迄今为止,全球已开形成了以美国、欧盟、日本等国家或地区为首的激光加工市场,激光加工技术正以前所未
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激光切割 激光加工 热处理 激光切割运动控制系统
热处理行业是装备制造行业中的四大基础工艺行业之一,是提升中国机械制造行业整体水平的关键性行业之一。随着钢铁、机械、化工等重化工业逐渐向发展中国家转移,热处理对中国机械制造业的振兴和发展具有重要的支撑作用,而机械制造业的发展也必将带动中国热处理行业的快速发展,为中国热处理行业的发展提供广阔的发展空间,行业的发展前景广阔。
有统计资料显示,“十一五”期间,中国热处理行业共有热处理企业(含专业化厂、热处理设备制造厂、热处理工艺材料生产企业及主机厂的热处理分厂、车间)约180
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热处理 节能
热处理是提高和保证机械产品质量及可靠性、提高制造业市场竞争力的重要基础之一,其行业水平的高低对制造业发...
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在大型汽车公司的大型热处理淬火车间中,传动系统用的齿轮零件连续进行表面渗碳淬火,产量非常大。在此之前,需要...
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标签:LED 照明 光源led是一种半导体元器件,核心是 p型及n型半导体组成的芯片。在p型半导体和n型半导体之间有一个过渡层,称为p-n结。当注入p-n结的载流子数量足够多,就可以实现把电能转换为光能的效果。一般的低
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LED是一种半导体元器件,核心是p型及n型半导体组成的芯片。在p型半导体和n型半导体之间有一个过渡层,称为p-n...
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LED是一种半导体元器件,核心是 p型及n型半导体组成的芯片。在p型半导体和n型半导体之间有一个过渡层,称为p-n结。当注入p-n结的载流子数量足够多,就可以实现把电能转换为光能的效果。一般的低功率LED产品拥有能耗低
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技术 简述 LED 高效 实现 热处理
为替代能源和电子制造市场提供先进热加工设备的领导厂商BTU国际公司日前宣布, 其工艺技术部经理Fred Dimock先生将在2011深圳国际SMT技术高级研讨会上发表题为“八温区向十温区回流焊炉转换工艺经验和意外收获”的演讲。该会议将与2011年 NEPCON华南展同期举行,该演讲将于8月31日下午14:00-15:00在深圳会展中心3号玫瑰厅进行。
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LED是一种半导体元器件,核心是 p型及n型半导体组成的芯片。在p型半导体和n型半导体之间有一个过渡层,称为p-n结。当注入p-n结的载流子数量足够多,就可以实现把电能转换为光能的效果。一般的低功率LED产品拥有能耗低
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技术 LED 高效 实现 热处理
0 引言 真空热处理是应用于制造工业中,为了使工业产品具备良好性能的必要中间工序,它是热处理的一个分支,主要目的是为了防止工件在加工过程中产生氧化和脱碳。由于可编程控制器应用了微电子技术和计算机技
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应用 控制系统 热处理 真空 PLC
热处理介绍
热处理是将材料放在一定的介质内加热、保温、冷却,通过改变材料表面或内部的组织结构,来控制其性能的一种综合工艺过程。
热处理-正文 金属材料在固态下经加热、保温和冷却,以改善材料性能的工艺。飞行器制造中,热处理可以改善毛坯的切削加工性、钣金件的成形性和材料的机械、物理和化学性能,使零件具备设计要求的性能。热处理还可以消除零件和焊接件中的有害残余应力,稳定零件的尺寸。飞行器制造中,除应 [
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