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一种增大质量块的三轴MEMS加速度计的设计

• 　　冯 堃，张国俊，王姝娅，戴丽萍，钟志亲（电子科技大学 电子科学与工程学院，成都611731）　　摘 要：介绍了一种增大质量块设计的三轴MEMS加速度计。该加速度计基于绝缘体上硅（SOI）硅片，采用双面光刻、干法刻蚀的工艺，利用了部分SOI硅片的底层硅部分来增大加速度计的质量块，设计了基于单一米字形质量块的三轴MEMS电容式微加速度计。根据不同的外界加速度对器件产生的不同位移，研究了在三个轴向的加速度计的灵敏度，同时分析了加速度计的交叉轴耦合的影响。最后结合Ansys仿真结果得出：所设计的微加速度计具有
• 关键字： 202005  微机械系统  三微加速度计  高灵敏度  绝缘体上硅