仪综所相关负责人表示，该中试平台以突破MEMS共性关键技术，助力高端传感器行业发展为宗旨，打造国内一流的MEMS中试公共服务平台，补齐MEMS工业传感器“基础研究—小规模中试—产品开发—批量生产”的链条，解决高端/新型MEMS工业传感器无法从实验室到产品的迅速技术转化难题。

该中试平台具备MEMS设计、单步关键工艺验证、封装测试、应用技术软硬件条件，在高端压力、气体、粘度、湿度等工业MEMS传感器研发方面积累深厚，可对外提供相关传感器仿真分析、结构和工艺设计，磁控溅射、晶圆键合等关键工艺，以及可靠性、稳定性等共性测试系列中试服务，拥有相关仪器设备200多台套。

该中试平台研制的MEMS压力传感器完全满足航空航天、气象、流程工业等领域压力测量要求；面向天然气输运管道安全国家重点领域，开展了极端环境油气管网传感器稳定性评价技术服务；面向高端装备健康监测及预测性维护等重点研究方向，开展了MEMS及其它传感器的环境适应性及测试评价；面向航空航天重点领域，开展了低温低气压极端环境传感器测试装置开发服务。

仪综所成立于1980年，建有传感器研发实验室、检测实验室、微纳制造洁净实验室，具备高端MEMS/NEMS传感器设计、加工、封装能力，拥有压力、粘度、湿度、气体和加速度等典型传感器性能比对、稳定性提升、极端环境综合模拟测试等共性测试平台。传感器检测实验室获CNAS和CMA双重授权，专业从事压力传感器、流量传感器、温度传感器性能检测服务，涵盖GB/T 15478-2015、JB/T 13111-2017、GB/T 30121-2013和IEC 60751: 2008系列等多个检测标准，可为科研院所等企事业单位提供了第三方检测服务。

检测试验找彭工136-9109-3503。

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