测量高达1018欧的电阻10aA (10×10-18A)电流测量分辨率小于3fA的输入偏置电流6 1/2位高精度测量模式最低电流范围的负载电压小于20μV电压测量高达200V，输入阻抗大于200ω内置+/-1000V电压源独特的交变极性电压源和测量方法，用于高电阻测量四种不同器件特性测试的内置测试序列，表面和体积电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描可选的插入式扫描卡，可通过一个测试设置测试多达10个设备或材料样品

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