实验名称：低阶大行程像差补偿器件性能测试

　　测试目的：根据设计方案和研究结果制备了基于低阶像差的3单元单压电片变形镜作为低阶大行程像差补偿器件，搭建实验系统对其相关性能进行了测试，并与仿真结果进行了对比分析。

　　测试设备：高压放大器、哈特曼传感器、双压变形镜、计算机等。

　　实验过程：

　　图1：变形镜影响函数测试系统结构流程图

　　图2：实验光路图

　　哈特曼波前传感器自带光源发出的光束经传感器内准直扩束系统和分光反射镜组合后入射到变形镜表面，光束经变形镜反射后，带有变形镜镜面信息的光束入射到哈特曼传感器内采集相机靶面上，由哈特曼传感器控制计算机完成波前复原，完成变形镜面形的测试。

　　波前探测装置为自带准直光源、通光孔径为30mm的哈特曼传感器，探测结果和图像采集均由波前采集控制中心完成，驱动电压由控制中心产生电压信号，经47通路的高压放大器放大输出。

　　实验结果：

　　图3：激光干涉仪测初始面形图

　　从图中结果可知，变形镜全口径面形PV大约为3.35个波长，15mm有效口径内面形PV大约为1.12个波长，干涉仪测试激光波长为650nm，有效口径内初始面形PV值为0.73μm。硅镜抛光过程和变形镜粘接过程都可能导致初始面形的不平整，在闭环校正过程中，变形镜能对自身初始面形进行校正。

　　图4：哈特曼传感器测初始面形图

　　用哈特曼传感器测量有效口径的初始面形结果如上图，初始面形PV值为0.79μm，与干涉仪测量结果大致相同。

　　影响函数反应了变形镜在驱动电压下的表面变形能力。影响函数的面形特点直接决定了变形镜对波前畸变的补偿精度，其幅值大小也决定了变形镜的校正行程，行程越大，变形镜单次校正像差的能力越强，闭环校正速度也越快。

　　电压放大器推荐：ATA-7010

　　图：ATA-7010高压放大器指标参数

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