"); //-->
陶瓷厚膜压力传感器是继扩散硅压力传感器之后压力传感器的又一次重大的技术创新,而力敏Z-元件是目前国内外唯一具有数字信号输出的敏感元件,因此陶瓷厚膜工艺与力敏Z-元件的最简单电路的巧妙结合,可以出现一种性能优异、成本低廉的新型压力传感器。具体来说,陶瓷厚膜工艺有下述优点:
1、厚膜电阻(包括高温导线)能与陶瓷弹性膜片牢固地烧结在一起,不需用胶进行粘贴。这种刚性结构蠕变小,漂移小,静态性能稳定,动态性能好。
2、 陶瓷弹性体性能优良,平整、均匀、质密的材料在程度范围内都严格遵循虎克定律,无塑性变形。
3、厚膜弹性体结构简单,易于制备。它与扩散硅压力传感器相比,不需半导体平面工艺来形成扩散电阻弹性膜片,大幅度减小了生产线的前期投入和工艺加工成本。
4、陶瓷厚膜结构耐液体或气体介质的腐蚀,不需通过不锈钢膜片和硅油的转换与隔离,封装结构简化,进一步降低成本。
5、工作温度范围宽, 可达-40℃~120℃。
6、工作量程宽。量程决定于膜片的有效半径与厚度之比,只要微压力不小于1Kpa,原则上较高的量程也易于实现。
专栏文章内容及配图由作者撰写发布,仅供工程师学习之用,如有侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 联系我们
相关推荐
求和积分器
从Gigafactory到“Terafab”:特斯拉重塑AI硬件格局的垂直整合豪赌
同相积分器
住友3M展示投影式静电容量式触摸面板
正弦振幅转换器拓扑实现一流的轉換效率和功率密度
2026武汉光博会会议日程公布,20余场高端会议共探光电前沿
拆解:Eve Energy 智能插座与电量监测器
拆解:苹果 iPhone 16 Pro
黑店老板的留言条
CEATEC 2011日本东京高新技术博览会的几个亮点
EUV光刻机将成为算力扩张的下一个瓶颈
拆解:索尼 PlayStation 5 Pro
爱尔兰的高考题, 特难!!!
具有串行接口的IO扩展器EM83010及其应用
具有高性能多媒体处理功能的PCI接口控制芯片SAA7146A及其应用
可编程时钟发生器及其应用
宽 VIN 范围降压型稳压器仅消耗 2.8µA 输入电流
幸福~~~, MM送的生日礼物!!!!
可编程控制器在船舶减摇鳍随动系统中的应用
阿里瞄准「Token」:成立ATH事业群,由CEO直接负责
球场下流动作!
由MC1494和LM307构成的除法电路
拆解:谷歌 Pixel 9 Pro Fold
英伟达宣布与比亚迪、吉利展开自动驾驶业务合作
日立3D全息显示设备展示
基本反相积分器
刚结束的嵌入式测试研讨会资料下载
拆解:Google TV Streamer 4K
低漂移积分器
锂电池在线充放电管理电路的设计