全球镀膜行业当前面临的两个最重大的挑战是增加能效和减少镀膜作业对环境的影响。同时，镀膜行业还有日益增长的提高镀膜系统生产效率和可靠性以及降低安装和使用成本的需求，尤其是需要实现更多的技术进步以满足市场日益增长的对功能和性能的需求。考虑到上述重大影响，设备制造商已经在最新抽真空装置领域实现了重大技术飞跃，目的是为最终用户和镀膜系统集成商提供能够满足以上所有要求的先进真空泵。本文主要来讲述一下干式螺杆真空泵在真空镀膜系统中的应用实例。

真空镀膜系统涉及了很广泛的应用，通常可分为六大主要市场领域：

a）透明平面基板大型镀膜系统，例如玻璃镀膜机

b）执行某些功能部件的特殊涂层，例如装饰外观、改变物理特性、电磁屏蔽

c）弹性或聚合物基板大型镀膜系统，例如卷绕镀膜机

d）光学器材的高精度表面镀膜系统，例如用于抗反射功能

e）采用电子束活化的L艺（例如溅射工艺）进行物理沉积

f）金属条和金属片镀膜系统，尤其是等离子增强型化学

螺杆泵是适用于全球镀膜市场的最新干式初级真空泵，该泵结合了多种创新的设计特性，带来同类产品中最佳的抽气性能以及非常低的能耗和噪音，安装尺寸也非常小。干式螺杆泵在极限压力下的能耗通常只有同等级的油泵在极限压力下的功耗的60%。

最新的一系列工业干式真空泵技术为镀膜工艺操作带来了节省大量能源的机会，并且在工作效率以及与镀膜设备控制系统集成的简便性方面设定了新标准。普诺克干式螺杆真空泵的先进干式抽气泵组设计带来了非常低的能耗和噪音，同时能实现较高的抽真空性能和较小的安装尺寸，这不仅节省了安装空间和运行成本，而且这些可靠的设计意味着维修间隔时间也大大延长，在一些情况下两次维修间隔长达5年。

因此，典型的镀膜系统必须配备一台初真空泵，另外常常结合罗茨增压泵来提高性能。这些泵可以初步排空，并将镀膜室压力降至0.1mbar的范围。达到这个压力水平后，高真空泵开始起工作，并继续除去工艺室内表面的残余气体以及（最重要的）脱气负荷，目的是有效的达到镀膜操作通常要求的10^-3或10^-4mbar或更低的高真空度。

干式螺杆真空泵在真空镀膜系统中的应用实例成果不仅为用户提供了良好的抽真空性能和可靠性，而且节约了大量的能耗，还显著提高了与镀膜机控制系统集成的简便性。这种技术飞跃尤其体现在干式真空泵中安装的最新智能模块上面，这些泵配备了可以自我完成基本工艺控制功能的机载控制器，例如工艺压力控制，而且可以在镀膜机的控制系统中轻松实现无缝集成。

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