普诺克真空机组为PECVD设备配套真空泵，真空机组产品在光伏行业内大量应用。

PECVD，等离子体增强化学的气相沉积法。也是化学气相沉积的一种镀膜设备。PECVD广泛应用也半导体、LED、光伏等行业，用于在晶体表面形成薄膜的设备。应用在光伏行业的PECVD分为2种，一种是管式太阳能PECVD；一种是板式太阳能PECVD。

PECVD设备主要有5大部分组成：晶片装载区、炉体、特气柜、真空系统、控制系统。

在炉体内有石英管，石英管是镀膜的作业区域，耐高温和防反应。

每个石英管配置一组泵，真空机组是有上泵和下泵组成，真空系统根据阀门的开度来调节管内的真空度。一般PECVD工作时，管内的真空度要维持在10Pa~100Pa左右。

罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。当配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下，还可抽除易燃易爆的气体。

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