一般电子束熔炼炉由电子枪室和熔炼室组成。电子枪室可由活塞真空泵和扩散泵排气，以获得10-4~10-6Torr的真空度。熔炼室可由活塞真空泵、增压泵和扩散泵组成或采用多级罗茨泵排气，以获得10-2~10-6Torr的真空度。

电子束熔炼炉：电子束熔炼炉主要是利用电子束所发出的巨大热能作为熔炼或合金的热源进行冶炼。它与真空感应炉、真空电弧炉所起的作用相同。由于熔炼的价格昂贵，所以只用于难熔金属、活泼金属或合金的熔炼。

活塞真空泵有它特殊的性能，概述如下：

1、  活塞真空泵是依靠活塞在水缸中改变泵室容积而吸取及排送液体的，这种作用称为“正位移”作用。所以，它有干吸能力，即在启动前不必在泵室中灌水就能吸水。这是一切“正位移”泵的大优点。

2、  活塞真空泵上的排送阀及吸入阀的作用很重要，但这些阀一方面增加了泵的水力损耗，另一方面对于液体中包合的杂志极敏感。所以活塞真空泵不能用来排送污浊液体及高粘度液体，以免在运转过程中，阀的故障很多，造成管理上的困难。

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