反熔丝技术(antifuse technology)是相对于熔丝技术(fuse technology)而言的。我们知道熔丝技术广泛用于各种PLD中,例如PAL,当PAL在编程器中被烧录之后,原先短接的点变为断开了。反熔丝技术恰相反,原来断接的点在烧录之后,短接上了,这种短接是永久性的。Actel公司用的是他们称作PLICE的反熔丝技术。PLICE技术是在反熔丝点上部有一个多晶硅层,下层为一个N+扩散层,两层之间是ONO(Oxide-Nitride-Oxide)的绝缘层。在未编程状态下,反熔丝连接点阻抗超过100MΩ,呈断开状态;在编程以后,阻抗典型值为500Ω。CROSSPOINT与Quicklogic的反熔丝技术与Actel类似,它们是在两层金属或一层金属与一层多晶硅间有一层无定形硅,当一个约11V~20V电压加在反熔丝点以后,断接的点就短接上了,阻抗为50Ω~100Ω之间。反熔丝技术的特点,决定了反熔丝单元较小,占用芯片面积小,工作频率高,有加密位,反拷贝,抗辐射抗干扰,不需外接PROM或EPROM,适合航天、军事、工业等各领域。反熔丝技术的缺点也是明显的,它只能一次编程,需要专门的编程器,这都潜在地影响了系统的开发成本。
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