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日本佳能特机开发出RGB OLEDoS蒸镀机

• 6月8日，据韩媒ETnews报道，日本佳能特机（Canon Tokki）在近期的SID显示周上，发表了以RGB OLEDoS蒸镀机为主题的论文。OLEDoS是一种在硅晶圆上蒸镀有机物、实现像素尺寸仅为数十微米（μm）的显示技术。由于能够实现超小型、高分辨率显示，因而被看作下一代技术。在会议现场，Canon Tokki展出了12英寸晶圆蒸镀机。该设备采用电镀工艺制造的精密金属掩模版（FMM），实现了3200 PPI（每英寸像素数）级别的RGB像素图案。据介绍，这是通过0.1?级别的精密对准技术实现的。公司方
• 关键字： 佳能特机   OLEDoS   蒸镀机   精密金属掩模版   FMM   RGBOLED   显示技术   像素密度   硅基显示