Si50x CMEMS®振荡器是业界首款单晶片MEMS振荡器，基于独创的CMEMS®技术，首个在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”单芯片解决方案。它的应用包括数码相机、存储和内存、ATM机、POS机和多功能打印机等。与现有的频率控制解决方案相比，Si50x CMEMS振荡器系列产品具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度。Silicon Labs的CMEMS®技术已经授权给中芯国际以提供大规模的制造，将推动MEMS产业迈向更高的集成度和性能。
CMEMS技术确保数据手册中的性能具有10年的频率稳定性，并保证操作寿命性能是其他XO和MEMS振荡器的10倍。CMEMS振荡器紧密耦合MEMS谐振器、CMOS温度传感器和补偿电路，从而在热力瞬变时以及整个工业温度范围内提供高稳定的频率输出。它采用被动补偿，在设计中使用可抵消温度变动的材料。它还提供丰富的现场和工厂可编程特性，包括低功耗和低周期抖动模式、可编程的上升/下降时间，以及可配置高/低输出使能功能。
Si50x CMEMS振荡器支持32kHz-100MHz之间的任意频率。频率稳定性选项包括±20ppm、±30ppm和±50ppm，运行温度范围支持商业应用（-20℃至+70℃）和工业应用（-40℃至+85℃）。Si50x振荡器可提供网络定制的2周样品交付周期，它与现有的石英或MEMS振荡器引脚和封装兼容，可实现快速便捷的替换解决方案。Si50x系列产品包括四类产品，具有数千种灵活的定时配置。
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