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HKMG

HKMG(high-k绝缘层+金属栅极) HKMG的优势和缺点 优势:不管使用Gate-first和Gate-last哪一种工艺,制造出的high-k绝缘层对提升晶体管的性能均有重大的意义。high-k技术不...... [查看详细]

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