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在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关，为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产，需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。一般所用的测量仪器或设备都包含连接、激励、测量和显示单元，有时还有后期数据处理单元。采用不同的测量方法和不同的连接方式引入的测量误差不同得到的测量也不同。通常开关矩阵中继电器触点闭合电阻为1Ω左右，FET开关打开时的电阻为十几欧，引线电阻为几百毫欧。如何根据需要减少测量误差是测试技术的关键之一。
在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关，为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产，需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。一般所用的测量仪器或设备都包含连接、激励、测量和显示单元，有时还有后期数据处理单元。采用不同的测量方法和不同的连接方式引入的测量误差不同得到的测量也不同。通常开关矩阵中继电器触点闭合电阻为1Ω左右，FET开关打开时的电阻为十几欧，引线电阻为几百毫欧。如何根据需要减少测量误差是测试技术的关键之一。
摘要：本文提出指针式万用电表电阻测量电路的第一误差(表头制作误差)和第二误差(电路设计误差)的概念。从制造和使用的角度出发，分析造成误差的原因和减小误差的方法。尤其是纠正生产厂家在电阻测量技术规范中的错误概念，提出作者的建议。 引言 指针式万用电表或模拟式万用电表，虽然有被数字式万用电表取代之势，但因其独特优点：“便于观察被测量连续变化，测量项目较多，操作简单，价格低廉，携带方便，是一种最普及、最常用的电测仪表”[1]。故目前在市场中仍占有相当大的份额，其用量亦相当
