- _____每个芯片上更多器件和更快时钟速度的不断发展，推动了几何形状缩小、新材料和新技术的发展。由于更脆弱、功率密度更高、器件更复杂和新的失效机制，所有这些因素都对单个器件的寿命和可靠性产生了巨大的影响，曾经寿命为100年的器件的生产工艺现在可能只有10年的寿命，这与使用这些器件的预期工作寿命非常接近。较小的误差范围意味着，必须从一开始就考虑器件的寿命和可靠性，从设备开发到工艺集成再到生产不断进行监控，即使是很小的寿命变化，对今天的设备来说也可能是灾难性的。虽然可靠性测试在封装器件级进行，但许多IC制造商
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晶圆级可靠性测试 Keithley
- 高性能纳伏表消除偏移、漂移和噪声可靠测量数十亿分之几伏电压，这对于生产高质量的尖端半导体器件是至关重要的。不过，获得可重复的可信结果一直是个大难题。您想测量的数量通常是偏移电压的一小部分，而简单地倒换测试引脚和取测量结果的平均值通常都不管用。偏移保持恒定的时间太短，而且偏移不断变化和漂移。 Keithley 公司用2182A 纳伏表nanovoltmeter解决了这个问题（见图片）。事实上，该仪器不仅能自动进行引线倒换，而且还能跟踪偏移电压的变化，并减掉恰当的数量。根据 Keithley 公司的说法，所
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Keithley 公司
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