- 微机电系统(Micro-Electro Mechanical
System)是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。简单理解, MEMS
就是将传统传感器的机械部件微型化后,通过三维堆叠技术,例如三维硅穿孔 TSV
等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上,最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式, 最终切割组装而成的硅基传感器。 受益于普通传感器无法企及的 IC
硅片加工批量化生产带来的成本优势, MEMS 同时又具备普通传感
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微机电系统,MEMS
- MEMS是什么?看完这篇就懂了-MEMS全称Micro Electromechanical System,微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
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MEMS 微机电系统 半导体
- MEMS成为当今世界的研究热点,各国的科技工作人员将其作为一个独立的边缘学科站展开国际范围内的学术与工程研...
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MEMS技术 微机电系统 机电一体化
- 想象下你坐在一个以恒定转速旋转着的旋转木马上:你站在它的中心,开始以一个恒定的速度沿着一条直线行走,这...
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微机电系统 MEMS 陀螺仪
- mems(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25...
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微机电系统 磁性传感器 发动机
- 1 系统原理与设计 1.1 检测原理 目前,常见的鼠标有2种,滚轮式和光电式。滚轮式鼠标是靠滚轮的传动带动X和Y轴上的译码轮转动,来感测鼠标位移的变化;光电式鼠标是用一个自带光源的光电传感器,跟随鼠标的移
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微机电系统 方案 无线鼠标
- 微机电系统(MEMS)在发展了近四十年后,近来因为游戏机(Wii、PS3)、手机(iPhone)、MP3(iPod touch)等消费性电子产品的应用,终于划下时代性的一刻,成功打入产量最大的消费性市场。这对于微机电产业来说无疑是值得庆贺的时刻,因为有太多的研发心力已投入这项将微机械与微电子工程融合的微机电设计诉求之上,如今总算看到令人欣慰的一些成果。
当然,这仍然只是MEMS进军更广泛市场的一个开端,打开这个市场的功臣即是加速度计(accelerometer)。在本文中将会对加速度计的技术及应
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0712_A 杂志_技术长廊 MEMS 微机电系统 嵌入式
微机电系统介绍
微机电系统是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS的特点是:
1)微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。
2)以硅为主要材料,机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当 [
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