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超音波数组 文章 进入超音波数组技术社区

隔空触觉应用看涨 imec开发微型超音波数组技术

  • 比利时微电子研究中心(imec),于本周举行的2022年IEEE国际超音波会议(International Ultrasonics Symposium),展示了新型压电式微型超音波换能器(pMUT)数组,它能与平面显示器(FPD)制程技术兼容。新型数组可以隔空感测高于1kPa的声压,满足隔空触觉与指向声波应用。 (A)包含22个直径为500μm环形pMUT的相控数组大范围影像(B)细部影像此次开发的pMUT技术不再聚焦晶圆制程,而是朝向与平面显示器技术兼容的方向发展,方便将来与隔空感测应用整合,
  • 关键字: 隔空触觉  imec  超音波数组  
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超音波数组介绍

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