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离子探针显微分析的工作原理和构成

离子探针显微分析离子探针的学名叫作二次离子质谱仪（Second Ion Mass Spectroscopy---SIMS），它在功能上与电子 ...
关键字：离子探针显微

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离子探针介绍

　　离子探针是用聚焦的一次离子束作为微探针轰击样品表面，测射出原子及分子的二次离子，在磁场中按质荷比（m/e）分开，可获得材料微区质谱图谱及离子图像，再通过分析计算求得元素的定性和定量信息。离子探针适用于许多不同类型的样品分析，包括金属样品、半导体器件、非导体样品，如高聚物和玻璃产品等。广泛应用于金属、半导体、催化剂、表面、薄膜等领域中以及环保科学、空间科学和生物化学等研究部门。　　主要包括四部分 [ 查看详细 ]

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