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硅基mems 文章 进入硅基mems技术社区

硅基MEMS制造技术分析

  • 　　上海硅知识产权交易中心 　　MEMS(微电子机械系统)技术是一种使产品集成化、微型化、智能化的微型机电系统。在半导体集成电路技术之上发展起来的硅基MEMS制造技术目前使用十分广泛。 　　
  • 关键字： Honeywell  硅基MEMS  
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硅基mems介绍

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