- 应用材料公司推出Applied DFinder检测系统，用于在22纳米及更小技术节点的存储和逻辑芯片上检测极具挑战性的互连层。作为一项突破性的技术，该系统是首款采用深紫外(DUV)激光技术的暗场检测工具，使芯片制造商具有前所未有的能力，在生产环境中检测出图形化晶圆上极小的颗粒缺陷，从而提高产品良率。DFinder系统专门针对互连层的检测而设计，因此总拥有成本比其它暗场检测系统最多可降低40%。这对芯片制造而言是一项非常关键的优势，因为在这个过程中可能会涉及50多个独立的检测步骤。
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应用材料 深紫外激光技术
深紫外激光技术介绍
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