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诺发推出300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积平台的最新增强版本

  •   中国上海—诺发系统有限公司正式推出VECTOR Express™新产品。VECTOR Express™是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积(PECVD)平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40%,保持了业界领先的生产效率。此外,VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆,使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。   VECTOR Express之所以
  • 关键字: 300mm  VECTOR  单片机  等离子  化学气相沉积平台  诺发  嵌入式系统  最新增强版本  等离子显示  PDP  
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