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晶片键合 文章 进入晶片键合技术社区

晶片键合质量的红外检测系统设计

  • 本文主要讨论以晶片的红外透射原理为基础，设计和搭建了红外检测装置及相关的软件模块，并同硅片键合装置结合，实现快速有效的在线键合工艺监控和晶片键合质量的初步评估。
  • 关键字： 晶片键合  红外检测  质量  系统设计    
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晶片键合介绍

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