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新型气敏材料 文章 进入新型气敏材料技术社区

复旦大学卢红亮教授团队在新型气敏材料及MEMS气敏器件研究中取得新进展

  • 近日,复旦大学微电子学院教授卢红亮(通讯作者)领导的团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺,在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料,并以此作为气体传感器,对浓度低至1ppm的硫化氢实现了超灵敏和高选择性的探测。相关成果以《Hierarchical highly ordered SnO2 nanobowls branched ZnO nanowires for ultrasensitive and selective hydrogen sulfi
  • 关键字: 复旦大学  新型气敏材料  MEMS气敏器件  
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新型气敏材料介绍

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