- 引言
随着VLSI集成度的日益提高，MOS器件尺寸不断缩小至亚微米乃至深亚微米，热载子效应已成为最严重的可靠性问题之一。现今,为了降低成本,减少周期,不断的提高工艺,晶圆级的器件可靠性测试愈来愈被广泛的应用。纵观
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创新 并行测试 晶圆级 方法
- 美国吉时利（Keithley）仪器公司（NYSE代码：KEI）日前发布面向S600系列参数测试系统的Keithley交互式测试平台软件KTE V5.2版。KTE V5.2所具备的多种功能大大提高了前沿电路材料测试的吞吐量（如RF频率测试），并增强了研发和生产过程中所涉及的并行测试能力。此外，经过升级的KTE V5.2软件还大大增强了易用性、简化了测试工作。 最新发布的KTE软件传承了吉时利（Keithley）不断改进测试平台和增强固定设备重用性方面的一贯承诺，将助于测试工程师
- 关键字：
Keithley RF测试功能 并行测试 参数测试软件 测量 测试 软件易用性 升级版 测试测量
- 吉时利（Keithley）仪器公司（NYSE代码：KEI）日前发布面向S600系列参数测试系统的Keithley交互式测试平台软件KTE V5.2版。KTE V5.2所具备的多种功能大大提高了前沿电路材料测试的吞吐量（如RF频率测试），并增强了研发和生产过程中所涉及的并行测试能力。此外，经过升级的KTE V5.2软件还大大增强了易用性、简化了测试工作。 最新发布的KTE软件传承了吉时利（Keithley）不断改进测试平台和增强固定设备重用性方面的一贯承诺，将助于测试工程师们降
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