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分选加工 文章 进入分选加工技术社区

LED芯片分选加工的制作流程

  • 外延片rarr;清洗rarr;镀透明电极层rarr;透明电极图形光刻rarr;腐蚀rarr;去胶rarr;平台图形光刻rarr;干法刻蚀rarr;去胶rarr;退火rarr;SiO2沉
  • 关键字： LED  外延片  分选加工  
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分选加工介绍

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