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KLA-Tencor推出先进RET/OPC功能的LithoWare产品

  •  KLA-Tencor今日正式推出基于 Linux 的新型产品 LithoWare,该系统可帮助半导体电路设计人员大幅度降低 RET* 和 OPC* 工艺开发的时间和成本。LithoWare是一款基于业内标准的PROLITH 模型的光刻优化工具,它允许客户同时优化 RET 和工艺条件,并将校准数据采集降至最少,从而有效缩短从设计到生产的时间。 “LithoWare 拥有无可比拟的预测精度
  • 关键字: KLA-Tencor  RET/OPC  单片机  嵌入式系统  
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