- 陶氏电子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化学机械研磨垫，该产品的设计目标是在研磨垫的使用寿命内实现低缺陷率和低拥有成本。这款新研磨垫使用了独特的聚合物化学组成和细孔结构，以达到使铜阻挡层研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介电层去除率。OPTIVISION™ 4540 研磨垫拥有双孔结构以精确控制研磨，并且在研磨垫使用寿命中提供一致的研磨垫表面。
OPTIVISION™ 4540 研磨垫可用于使用传统
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陶氏 研磨垫 OPTIVISION 4540
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