- 中科大郭光灿院士领导的中科院量子信息重点实验室在基于碳纳米管的纳米机电系统(NEMS)方面取得系列重要进展。该实验室固态量子芯片组郭国平研究组与清华大学姜开利研究组等合作并成功实现了两个串联碳纳米管谐振器的强耦合、碳纳米管谐振器中两个模式的强耦合，并利用这种耦合实现了声子的相干操控，相关成果分别发表在《纳米快报》(Nano Lett. 16， 5456 (2016)，Nano Lett. 17， ASAP (2017))和《纳米尺度》(Nanoscale 8， 14809 (2016))上。
碳
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NEMS
- 在对微/纳机电系统(micro/nanoelectrome-chanicalsystem，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可...
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MEMS NEMS 3-D轮廓 CCD
- 相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方
法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板
的使用,先将非相容区域标记出来,在相位解包裹的过程中绕过这些区域,即可得到准确可靠的相位展开结果.通过具体的应
用实例可以证明,使用不同模板可以根据不同应用的需要灵活而准确地实现微纳结构表面3-D轮廓测量中的相位展开.
关键词:MEMS/NEMS;表面
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模板 相位 包裹 算法 基于 测量 表面 3-D 轮廓 MEMS/NEMS
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