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mpasp-h1003h 文章 进入mpasp-h1003h技术社区

兼顾高生产率与高分辨率， 佳能发售FPD曝光设备新品“MPAsp-H1003H”

  • 佳能将于2022年7月下旬发售FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品“MPAsp-H1003H”。作为支持第8代玻璃基板尺寸*1的FPD曝光设备新产品，“MPAsp-H1003H”拥有1.5μm*2（L/S*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。 FPD曝光设备“MPAsp-H1003H” 近年来，随着远程办公需求的激增与在线教育的迅速普及，笔记本电脑、平板电脑等IT设备所用显示器的需求也在持续增长。此外，由于电动汽车的普及与自动驾驶技术的不断进步，更轻薄、高清优
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