- 半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社(母公司：栃木县小山市，董事长：浦中克己)宣布，为提高设备的工作效率，公司将制定新的产品规划图，以应对需求量不断高涨的半导体厂家的要求。
Gigaphoton此次制定的产品规划图“RAM Enhancement”加强了DUV光源受激准分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可维护性(Maintainability)。公司已经开始行动，将在2020年前打破被业界定位为极限的&l
- 关键字：
Gigaphoton DUV
- Gigaphoton公司18日宣布已经成功将LPP EUV光源产品的输出端等效最大功率推进到了20W水平。该公司达成这个目标所使用的方法是，使用固态预脉冲激光器，100khz频率的CO2激光来轰击锡靶标。采用这种方法，该公司在光源运行过程中达成了平均 10W水平的输出功率。由于目前普遍认可的预生产型商用EUV光源输出功率级别正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果标志着预生产极 EUV光源发展过程中的一个新里程碑。
Gigaphoton公司
- 关键字：
Gigaphoton EUV光源
- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已终止有关光源合资企业Gigaphoton的合作协议。Komatsu将从Ushio手中买下50%股权。未来Gigaphoton将成为Komatsu的全资子公司。而此举会为EUV的未来投下何种变数仍有待观察。
- 关键字：
Gigaphoton EUV光源
gigaphoton介绍
您好，目前还没有人创建词条gigaphoton!
欢迎您创建该词条，阐述对gigaphoton的理解，并与今后在此搜索gigaphoton的朋友们分享。
创建词条
关于我们 -
广告服务 -
企业会员服务 -
网站地图 -
联系我们 -
征稿 -
友情链接 -
手机EEPW
Copyright ©2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《电子产品世界》杂志社 版权所有 北京东晓国际技术信息咨询有限公司
京ICP备12027778号-2 北京市公安局备案：1101082052 京公网安备11010802012473
