- Gigaphoton公司18日宣布已经成功将LPP EUV光源产品的输出端等效最大功率推进到了20W水平。该公司达成这个目标所使用的方法是，使用固态预脉冲激光器，100khz频率的CO2激光来轰击锡靶标。采用这种方法，该公司在光源运行过程中达成了平均 10W水平的输出功率。由于目前普遍认可的预生产型商用EUV光源输出功率级别正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果标志着预生产极 EUV光源发展过程中的一个新里程碑。
Gigaphoton公司
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Gigaphoton EUV光源
- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已终止有关光源合资企业Gigaphoton的合作协议。Komatsu将从Ushio手中买下50%股权。未来Gigaphoton将成为Komatsu的全资子公司。而此举会为EUV的未来投下何种变数仍有待观察。
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Gigaphoton EUV光源
- 日本小松公司(Komatsu)与Ushio公司近日决定终止两家公司有关EUV光刻机光源合资厂商Gigaphoton项目的合资合同。小松将从Ushio公司手中收购Gigaphoton余下的50%股份，这样Gigaphoton将成为小松的独资公司。
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Ushio EUV光源
- 光源对于光刻机的重要性不言而喻，没有光源的匹配，一切图形成像都无从谈起。从1986年开始，Cymer正式进入半导体产业，目前已有超过3500套光源安装在世界各地的光刻设备上。Cymer所占的市场份额已近70%，俨然已成为世界光源制造领域的领头羊。
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