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euv光刻 文章 进入euv光刻技术社区

美国官方报告:深度解析EUV光刻的现状、需求和发展

  • 2022 年,半导体市场规模约为 0.6 万亿美元,商业分析师预计到 2030 年将翻一番 1.0 万亿美元至 1.3 万亿美元。半导体制造业的大幅增长可以在光刻工艺中体现出。光刻是一种图案化过程,将平面设计转移到晶圆基板的表面,创造复杂的结构,如晶体管和线互连。这是通过通过复杂的多步过程选择性地将光敏聚合物或光刻胶暴露于特定波长的光下来完成的。最近,光刻技术的进步在生产最先进的半导体方面创造了竞争优势,使人工智能(AI)、5G 电信和超级计算等最先进的技术成为可能。因此,先进的半导体技术会影响国家安全和
  • 关键字: EUV光刻  

光学光刻和EUV光刻中的掩膜与晶圆形貌效应

  • 半导体制造中微型化的进展使得光刻掩膜和晶圆上的几何图形不断增加。准确模拟这些图形产生的衍射要求运用精 ...
  • 关键字: 光学光刻  EUV光刻  掩膜  晶圆形貌  
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euv光刻介绍

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