首页  资讯  商机   下载  拆解   高校  招聘   杂志  会展  EETV  百科   问答  电路图  工程师手册   Datasheet  100例   活动中心  E周刊阅读   样片申请
EEPW首页 >> 主题列表 >> ald

ald 文章

原子级工艺实现纳米级图形结构的要求

  • 原子层刻蚀和沉积工艺利用自限性反应,提供原子级控制。泛林集团先进技术发展事业部公司副总裁潘阳博士 分享了他对这个话题的看法。图 1. 原子层工艺中的所有半周期反应是自限性反应。技术节点的每次进步都要求对制造工艺变化进行更严格的控制。最先进的工艺现在可以达到仅7 nm的fin宽度,比30个硅原子稍大一点。半导体制造已经跨越了从纳米级到原子级工艺的门槛。工程师现在必须关注结构的尺寸变化,仅相当于几个原子大小。由于多重图案模式等复杂集成增加了工艺数量,进一步限制了每个步骤允许的变化。3D N
  • 关键字: ALE  ALD  CER  EPE  SAC  CAR  

国内首台集成电路ALD设备进驻上海集成电路研发中心

  •   近日,由北方华创下属子公司北方华创微电子自主研发的国内首台12英寸原子层沉积(AtomicLayerDeposition,ALD)设备进驻上海集成电路研发中心。北方华创微电子为国产高端装备在先进集成电路芯片生产线的应用再添新秀。   ALD设备是先进集成电路制造工艺中必不可少的薄膜沉积设备,ALD工艺具有工艺温度低、薄膜厚度控制精确及台阶覆盖率高等优点。在集成电路特征线宽发展到28纳米节点后,ALD工艺应用日益广泛。北方华创微电子自2014年开始布局ALD设备的开发计划,历时四年,成功推出中国首台应
  • 关键字: ALD  集成电路  

ALD技术在未来半导体制造技术中的应用

  • 由于低温沉积、薄膜纯度以及绝佳覆盖率等固有优点,ALD(原子层淀积)技术早从21世纪初即开始应用于半导体加工制造。DRAM电容的高k介电质沉积率先采用此技术,但近来ALD在其它半导体工艺领域也已发展出愈来愈广泛的应用。
  • 关键字: ALD  半导体制造  FinFET  PVD  CVD  

液化空气集团电子气业务加强高介电常数锆基前驱体的专利保护

  •      液化空气集团电子气业务线近日宣布,其应用于半导体制造的前驱体ZyALD已获得中国专利局授予的相关专利,从而使中国成为了继韩国、新加坡、中国台湾以及部分欧洲国家之后又一获得该项专利的国家。此外,相关专利的申请工作在其他国家及地区也预期顺利。ZyALD及其它类似分子应用于高介电常数沉积镀膜,该工艺目前已在全球范围内获得11项专利,另有13项专利正在申请中。   ZyALD是上述已获专利的系列分子中一种重要的锆前驱体(功能分子)。该分子能够在半导体制造工艺中,实现高温条
  • 关键字: 液化空气  ZyALD  ALD  

ASM:迈入FinFET将需要全方位ALD方案

  •   半导体产业正在转换到3D结构,进而导致关键薄膜层对高速原子层沉积(ALD)的需求日益升高。过去在平面元件中虽可使用几个 PVD 与 CVD 步骤,但就闸极堆叠的观点而言,过渡到 FinFET 元件将需要全方位的 ALD 解决方案。   就 FinFET 而言,以其尺寸及控制关键元件参数对后闸极 (gate last) 处理的需求来说,在 14 奈米制程必需用到全 ALD 层。半导体设备大厂 ASM International (ASMI) 针对此一趋势,与《电子工程专辑》谈到了ALD 技术在先进半导
  • 关键字: 半导体  FinFET  ALD   

ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究

  • 摘要:阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方
  • 关键字: 设计  研究  匹配  阻抗  射频  ALD  
共6条 1/1 1

ald介绍

您好,目前还没有人创建词条ald!
欢迎您创建该词条,阐述对ald的理解,并与今后在此搜索ald的朋友们分享。    创建词条

热门主题

树莓派    linux   
关于我们 - 广告服务 - 企业会员服务 - 网站地图 - 联系我们 - 征稿 - 友情链接 - 手机EEPW
Copyright ©2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《电子产品世界》杂志社 版权所有 北京东晓国际技术信息咨询有限公司
备案 京ICP备12027778号-2 北京市公安局备案:1101082052    京公网安备11010802012473