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5nm刻蚀机 文章 进入5nm刻蚀机技术社区

突破!中微半导体5nm刻蚀机获台积电批量采购

  • 早在2018年底,中微半导体就曾对外透露,其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于台积电的全球首条5nm制程生产线。值得一提的是,中微半导体也是唯一进入台积电7nm制程蚀刻设备的大陆本土设备商。据悉,中微半导体与台积电在28nm制程时便已开始合作,并一直延续到10nm和7nm制程。近日,中微半导体发布会了在2019年的财报,2019年的收益达到了19.47亿元,同比增长为18.77%,而归母净利润为1.89亿,同比增长为107.51%,年报中表示公司开发的高端刻蚀设备已在各大国际知名
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5nm刻蚀机介绍

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