- 248nm准分子激光器技术由于输出波长短、能量高、具有窄的脉宽和很高的峰值功率，在工业、国防等方面，尤其是高功率激光系统包括248nm光刻技术、激光医疗、激光精细加工中具有极广的应用前景，也是ICF领域一个重要的技术选项。248nm薄膜元件是准分子激光系统中重要的薄膜元器件，其光学损耗和抗激光损伤性能对激光系统的效率起着重大或决定性的作用。
中国科学院上海光学精密机械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低损耗蒸发沉积工艺，在此基础上设计并制备了两种248nm增透膜，
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准分子激光器 248nm
248nm介绍
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