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等离子体 文章 进入等离子体技术社区

精确跟踪芯片蚀刻过程,用高分辨率光谱仪监测等离子体

  • 在半导体行业,晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分,在这一过程中,材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时,等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻,并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线,可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体是一种被激发的、类似气体的状态,其中一部分原子已经被激发或电离,形成自由电子和离子。当被激发的中性原子的电子返回到基态时,等离子体
  • 关键字: 芯片蚀刻  高分辨率光谱仪  等离子体  

等离子体表面处理技术在医疗器械领域的应用概述

  • 对气体施加电压使之产生辉光放电的技术,或者称做“等离子体”技术,在医疗器械领域已经成为了一种解决表面预处理问题的有力工具。等离子体不仅可用于表面的极端清洁和消毒,它还可以改善生物材料对体外诊断平台。
  • 关键字: 等离子体  医疗器械  表面处理  

微型高分辨率光纤光谱仪在等离子体领域的应用

  • 摘要等离子体是继气体、液体、固体后的第四种物质的聚集态。等离子体物理学是一门蓬勃发展的新兴科学,其应...
  • 关键字: 高分辨率  光纤光谱仪  等离子体  

自制NE555等离子体扬声器详解(二)

  • 上接:自制NE555等离子体扬声器详解(一)焊上63V 0.22微法的涤纶电容(音频输入)焊上电容 焊上8050和8550对管控制信号输出串联一个22ohm的电阻把长多出来的引脚剪短然后把NE555电路从大电路板上裁下来焊接完成 来张
  • 关键字: 555  NE  等离子体  扬声器    

自制NE555等离子体扬声器详解(一)

  • 准备材料 :电烙铁 *1吸锡泵*1松香*1焊锡丝*1洞洞板*1电子元件:四分之一瓦电阻:10K 18K 470ohm 22ohm *13296精密可调电位器*1三端稳压器 7812*1滤波铝电解电容*11nF独石电容*163V 0.22微法涤纶电容*1IC :NE555 *1
  • 关键字: 555  NE  等离子体  扬声器    

CAN总线在流光放电等离子体烟气脱硫监控系统的应用

  • 随着我国经济的发展,能源消费带来的环境污染也越来越严重。燃煤烟气中排放的二氧化硫和氮氧化物占全国总排放...
  • 关键字: CAN总线  等离子体  脱硫监控系统  

uPD16305在等离子体显示器中的应用介绍

  • 摘要:介绍了NEC公司生产的专用于等离子体显示器的行驱动芯片mu;PD16305的性能特点及其它PDP显示系统中的应用。它为PDP扫描电极的驱动电路提供了高达180V的驱动信号,显示效果令人满意。
    关键词:等离子体显示器
  • 关键字: 介绍  应用  显示器  等离子体  uPD16305  

星弧等离子体技术在LED制作工艺中的应用

  • 前言LED是可直接将电能转化为可见光的发光器件,它有着体积小、耗电量低、使用寿命长、发光效率高、高亮度低热量、环保、坚固耐用及可控性强等诸多优点,发展突飞猛进,现已能批量生产整个可见光谱段各种颜色的高亮度
  • 关键字: LED  等离子体  制作工艺  中的应用    

等离子体表面处理技术在医疗器械领域的应用

  • 等离子体表面处理技术在医疗器械领域的应用,对气体施加电压使之产生辉光放电的技术,或者称做“等离子体”技术,在医疗器械领域已经成为了一种解决表面预处理问题的有力工具。等离子体不仅可用于表面的极端清洁和消毒,它还可以改善生物材料对体外诊
  • 关键字: 等离子体  表面  处理技术  医疗器械    

彩色表面等离子体共振成像研究

  • 自Ash和Knoll等创立表面等离子体共振成像( Surface PlasmON Resonance Imaging, SPR I)技术以来, 使得生物分子点阵的无标记并行检测成为可能. 迄今为止, SPR I主要采用单波长激发光源, 检测到的是单色或黑白图像. 虽
  • 关键字: 成像  研究  共振  等离子体  表面  彩色  

uPD16305在等离子体显示器中的应用

  • 摘要:介绍了NEC公司生产的专用于等离子体显示器的行驱动芯片mu;PD16305的性能特点及其它PDP显示系统中的应用。它为PDP扫描电极的驱动电路提供了高达180V的驱动信号,显示效果令人满意。
    关键词:等离子体显示器
  • 关键字: 应用  显示器  等离子体  uPD16305  

介质阻挡等离子体串联谐振式电源

  •   引言  介质阻挡放电(DBD)最早起源于对臭氧发生及其应用技术的研究。近二十多年来,由于工业等离子体化学合成与分解、环境污染治理等方面的需求,同时又由于材料科学和电力电子技术等相关学科也取得了较大的发展
  • 关键字: 谐振  电源  串联  等离子体  阻挡  介质  

大功率介质阻挡等离子体电源特性及工业应用研究

  • 引言
    介质阻挡放电(DBD)最早起源于对臭氧发生及其应用技术的研究。近二十多年来,由于工业等离子体化学合成与分解、环境污染治理等方面的需求,同时又由于材料科学和电力电子技术等相关学科也取得了较大的发展,
  • 关键字: 工业  应用  研究  特性  电源  介质  阻挡  等离子体  大功率  电源  

表面波等离子体激励源设计

  • 摘要:本文设计了频率及输出功率可调的表面波等离子体激励源, ADF4360-7产生850MHz~950MHz频率的振荡信号, ADL5330、两级功率放大器、AD8318和C8051F020控制输出功率。实现了表面波等离子体的激发。关键词:表面波;等离子体;激励源 引言利用微波在介质表面激发出截止密度以上的等离子体,然后微波在介质与等离子体间形成表面波的传输,具有一定电场强度的表面波在其传输的范围内可生成和维持高密度的等离子体,因此称为表面波等离子体。将微波导入一介质管,在介质管壁上激发出表面波传输,即
  • 关键字: 嵌入式系统  单片机  表面波  等离子体  激励源  测试测量  

一种等离子体镀膜电源

  • 现代社会中,某些产品的对硬度有特殊的要求,为此在工业生产过程中往往需要对这些产品进行表面镀膜,以增加其耐磨性和耐刮性。在物理化学领域这属于表面改性,是真空炉中的某些气体在一定的气压和真空度下进行强电场等离子体电离。
  • 关键字: 电源  镀膜  等离子体  
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等离子体介绍

等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间,空间物理,地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。 目录 1 简介 2 主要应用 3 等离子技术 4 不稳定性 5 参 [ 查看详细 ]

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