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离子注入技术概述及应用实例

简述了离子注入技术的发展趋势及典型应用，并简要分析了该领域的技术发展方向。关键词：离子注入；发展趋势；典型应用
Development and Application of Ionimplantation Technology CHEN Jiang-hong,CHEN Yang,LI
关键字：离子注入技术应用实例

什么是离子注入技术

离子注入技术介绍：把掺杂剂的原子引入固体中的一种材料改性方法。简单地说，离子注入的过程，就是在真空系统中，用经过加速的，要掺杂的原子的离子照射（注入）固体材料，从而在所选择的（即被注入的）区域形成一个
关键字：离子注入技术

离子注入技术的发展趋势及典型应用

简述了离子注入技术的发展趋势及典型应用，并简要分析了该领域的技术发展方向。关键词：离子注入；发展趋势；典型应用
Development and Application of Ionimplantation Technology CHEN Jiang-hong,CHEN Yang,LI
关键字：离子注入技术发展趋势典型

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离子注入技术介绍

　　离子注入技术是把某种元素的原子电离成离子，并使其在几十至几百千伏的电压下进行加速，在获得较高速度后射入放在真空靶室中的工件材料表面的一种离子束技术。材料经离子注入后，其表面的物理、化学及机械性能会发生显着的变化,金属表层所产生的持续耐磨损能力可以达到初始注入深度的2～3个数量级。　　离子注入是将离子源产生的离子经加速后高速射向材料表面，当离子进入表面，将与固体中的原子碰撞，将其挤进内部，并在 [ 查看详细 ]

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