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激振电路 文章

石英晶体谐振式绝对压力传感器研制

  •   0引 言   谐振式石英晶体压力传感器以其高精度,良好的长期稳定性广泛应用于气压与高度测量、压力自动校准以及精密过程控制等。这种高精度石英晶体压力传感器在结构形式上主要有2种形式,一种是厚膜切变模式,将石英晶体加工成透镜模式,在透镜上制作电极,利用其振动频率与所受压力的变化关系来检测压力的大小,这种传感器对透镜和电极的加工工艺要求很高,产品制造难度大,现已逐渐被其他结构取代;另一种是以石英谐振梁为力敏元件,用波登管或金属膜盒来感受压力,并将压力转换成力作用到谐振梁上,谐振梁的频率随作用压力变化而变化
  • 关键字: 传感器  谐振器  激振电路  压力敏感元件  
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激振电路介绍

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