欧姆接触介绍
欧姆接触是金属-半导体界面的一种接触形式,欧姆接触直接影响器件的效率、增益和开关速度等性能指标,可以用于一切器件和电路信号的输入、输出以及各元件间的相互连接。制备高性能而可靠的欧姆接触不仅有重要的技术意义,也有很大的经济意义。 欧姆接触制备是材料工程里研究很充分而不太有未知剩余的部分。可重复且可靠的接触制备需要极度洁净的半导体表面。例如,因为天然氧化物会迅速在硅表面形成,接触的性能会十分敏感 [
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