首页　资讯　商机　下载　拆解　高校　招聘　杂志　会展　 EETV　百科　问答　电路图　工程师手册　 Datasheet　 100例　活动中心　 E周刊阅读　样片申请

刻蚀工艺文章进入刻蚀工艺技术社区

共0条 1/0 »

刻蚀工艺介绍

刻蚀工艺　　把未被抗蚀剂掩蔽的薄膜层除去，从而在薄膜上得到与抗蚀剂膜上完全相同图形的工艺。在集成电路制造过程中，经过掩模套准、曝光和显影，在抗蚀剂膜上复印出所需的图形，或者用电子束直接描绘在抗蚀剂膜上产生图形，然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的介质薄膜（如氧化硅、氮化硅、多晶硅）或金属薄膜（如铝及其合金）上去，制造出所需的薄层图案。刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法，有选择 [ 查看详细 ]

刻蚀工艺资料下载

热门主题

树莓派 linux

刻蚀工艺 文章 进入刻蚀工艺技术社区

刻蚀工艺介绍

刻蚀工艺资料下载

热门主题

刻蚀工艺文章进入刻蚀工艺技术社区