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光学缺陷检测 文章

KLA发布全新缺陷检测与检视产品组合

  • 加利福尼亚州米尔皮塔斯,2019年7月9日- KLA公司(纳斯达克股票代码:KLAC)今日发布392x和295x光学缺陷检测系统和eDR7380™电子束缺陷检视系统。这些全新的检测系统是我们公司旗舰产品系列——图案晶圆平台的进一步拓展,其检测速度和灵敏度均有提升,代表了光学检测的新水准。全新电子束检视系统的创新使其自身价值进一步稳固,并成为缺陷和发现其产生根源之间的必要一环。对于领先的3D NAND、DRAM和逻辑集成电路(IC),该产品组合将缩短整个产品周期,加快其上市时间。“为了有利润地制造下一代内存
  • 关键字: KLA  光学缺陷检测  eDR7380™电子束缺陷检  
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光学缺陷检测介绍

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