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中国首台具有自主知识产权MOCVD设备问世

作者:时间:2008-05-08来源:电子产品世界收藏

  由有限公司承担的国家863半导体照明工程重点项目“氮化镓-深紫外”材料生长设备研制取得突破,我国首台具有自主知识产权的并能同时生长6片外延片的设备研制成功。   

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/82314.htm

  该设备在高亮度的蓝光发光二极管()、激光器()、紫外光电探测器、高效率太阳能电池、高频大功率电子器件领域具有广泛应用。是半导体照明上游关键设备,目前国内半导体照明产业的研发和生产所需设备全部依赖进口。在此之前,杰生电气已先后研发出2英寸单片和2英寸3片的氮化镓基外延材料生长设备,已获国家发明专利该系列设备,在蓝宝石Sapphire晶片和碳化硅SiC晶片生长出各种结构的基材料。   

  成立于2001年的杰生电气,专门从事氮化镓外延生长“金属有机物气相淀积法”设备(MOCVD SYSTEM)的研制开发和生产,杰生电气以研发和生产高质量-MOCVD SYSTEM为起点,开发具有完全自主知识产权的从研究型到生产型MOCVD SYSTEM,是国内目前唯一的-MOCVD设备生产制造厂家。



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