智能 IMU增长快，Fairchild九轴MEMS蕴含多种技术

　　据IHS，IMU(惯性测量单元)预计2019年将达到20亿件市场规模(图1)，主要应用与增强现实与虚拟现实、智能手机、无人机、自动机器人/扫地机器人、智能手表和健身腕带、3D人体跟踪等。IMU对整体算法要求较高，因为传感器往往是六轴、九轴等多轴产品。

　　图1 2012-2019年分立和IMU消费类市场

　　为了适合这种发展趋势，近日Fairchild公司推出 FIS1100六轴 MEMS IMU，集成了专有的AttitudeEngine运动处理器以及九轴传感器融合算法，实现了低至1/10的处理功耗，可用于支持运动、采用电池供电的应用中。

　　图2 Fairchild的智能IMU与传统架构对比

　　相比传统架构，AttitudeEngine在内部以高速率处理六轴惯性数据，并以与应用需要匹配的低速率输出给主机处理器，因此无需高频率中断。这样，系统处理器处于休眠模式的时间就更长，从而为客户提供更长的电池寿命，而不会牺牲功能或准确性。绑定的 XKF3 高性能九轴传感器融合算法综合了来自芯片上的陀螺仪和加速计的惯性传感器数据和来自外部磁力计的数据。传感器融合还包括背景自动校准，在准确度、一致性和流动性方面提供卓越的性能。飞兆半导体市场发展总监陈俊称，结合 XKF3 传感器融合算法后，FIS1100 成为世界上首款符合定位(四元素)规范的完整消费电子惯性测量装置，具有±3°的俯仰和侧滚准确度，以及±5°的偏航准确度。

　　另外，FIS1100 采用 Fairchild 的专有 MEMS 工艺，专门针对惯性传感器而设计。该工艺包括业界领先的 60 µm器件层(注：MEMS与AttitudeEngine之间)，具有高纵横比、硅通孔 (TSV) 互联和垂直电极，以及具有双真空设计的独特单芯片陀螺仪和加速计。