MEMS加速传感器和陀螺仪设计瞄准医疗领域的应用

图六：SCA121T加速感传感测量浴室电子称的心脏冲击扫描图波形。

微电子机械系统的硅片传感器技术集中了各种优势，包括体积最小，运用刻蚀技术(干和湿)和先进的封盖(硅片键合和玻璃绝缘)、接触(电极可焊接或线接)设计。本文前面所提到的SCA121T传感器使用了整个硅片作为动量，它可以承受70000克左右的高冲击。此外，因采用单晶硅结构，它还具有其他主要特点，包括超范围容量、无机械迟滞现象，无塑性变形。稳定的电容检测原理可以通过大的平行板电容结合高电容动力学来实现。因此，这种微电机械系统的传感器就具备优质的信噪比。

当我们根据心脏冲击扫描图原理设计心脏监护仪时，设计工程师需要将传感器的噪声密度设定为14μg/√Hz，从而使心脏监护仪的测量分辨率优于一毫米每平方秒(1mm/S2)。噪音过滤也是非常关键的因素，如建筑物中的机械振动的滤除。对于共振，传感器需要具备可控的频率效应，这种效应通常通过机械阻尼来实现。最后，传感器集成版可以通过先进的信号滤波算法将真实的信号和在现实的检测环境中出现的任何杂散的干扰信号相互分离。如果出现严重的噪音干扰，这种噪音的波形与心脏冲击描计信号的波形类似，如波幅、频率和序列，这时我们就需要采用一个额外的加速传感器来测量监测环境中出现的加速现象，从而对心脏冲击描记信号进行补偿。此时，匹配两个加速感应器信号的相位就变得十分重要。

图七：高度精确的电容加速感应元件的简化图。