电源：大型UPS在半导体制造厂的应用
一.引言
半导体制造业是全球十大重点产业之一,是技术资金密集,技术进步和投资风险高的产业.中纬公司是浙江省至今唯一的6英夹酒制造项目,该项目于2003年7月投产以来,当前的产量已达10000片/月.半导体制造厂对电力网的稳定运行有较高的要求.晶园代工企业的精密设备不能忍受这种短暂的电压闪变、跌落、瞬时供电中断,每次电压闪变都可能导致生产出废品，甚至使得某些机器出现重新启动的现象。
公司装有Powerware 9315 UPS 2*200KVA,3*625KVA共计5台.共容量:2275KVA,位于PUB3F, 2*200KVA主要为FAC系统的UPW,PCW,PCT,PV及FAB的部分照明提供可靠电力, 3*6250KVA主要为FAB的TOOLS(注入、扩散、光刻)等机台提供稳定的供电之用.
二. Powerware 9315系列UPS工作方式与性能特点
1.UPS本公司的工作示意图如下:
a. 2*200KVA并联单线图
b. 3*625KVA (2+1)热同步并机单线图
2. Powerware 9315系列UPS特点：
a、独特且可靠的并机技术
Powerware 9315采用独特的“热同步”直接并机技术，在各UPS单机之间无需通讯电缆连接来传递实时信号，就可实现并机的“均流”控制。对于并机系统中的各台UPS，它们都处于完全“平等”的调控状态之中。采用独特的“小步长，高频率”同步相位调制法。每台UPS能“智能”地将位于并机系统中的各台UPS的同步跟踪调到最佳状态(彼此之间的相位差几乎为零)和实时动态地调节所带的负载百分比。实现高精度的负载均分，并在逆变器万一发生故障时，将有故障的UPS迅速、可靠地从并机系统中脱机，从而确保并机系统继续向用户提供高质量的逆变器电源。并机系统的负载电流“均流”不均衡度小于2%
b、智能化电池管理系统DC Expert
为确保电池的有效使用寿命，配置具有完善的智能化电池管理系统，独特的电池测试维护软件。利用DC Expert的“自诊断”定时监控功能使您对电池的维护进行预先策划，从而避免在发生市电停电时，因电池损坏而引起负载供电中断的重大事故，提高整机供电系统的可靠性。
c、独特的控制板通讯技术
采用高性能微处理器“数字信号控制技术”+软件可编程调控技术+控制板间的网络通讯技术，大大减少控制板数量和控制板之间的传输连接线，确保UPS具有高可靠性和高一致性。
d、极强的抗过载能力
具有极强的抗输出过载能力(300%,300毫秒)+优良的抗输出短路限流能力，可确保逆变器安全可靠地运行。
e、大屏幕液晶显示功能
f、远程监控功能及电源监察院控管理软件
Powerware 9315系列UPS同时向用户提供RS232和RS485接口，一组继电器干接点输出接口和一组“用户自定义”报警信号输入接口等四种通讯接口，再配置上POWERWARE公司所提供的电源监管软件，就可组成具有网络管理功能的智能化UPS供电系统，从而可实现远程集中监控。PowerVision软件提供了预先报警的功能，而ForeSeer软件通过SNMP为您提供全方位的企业管理。
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