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一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计

作者:时间:2011-12-23来源:网络收藏

CV转换模块的原理如图5所示,其中虚线部分表示机械部分等效电容。该结构采用辅助运放抵消了等效电容的共模部分,只对等效电容的差模部分敏感,并采用时序控制开关电容电路以得到更高的增益和更低的噪声性能。该电路的输入输出关系为
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4 仿真结果
芯片采用TSMC 0.35μm2P4M工艺实现,版图面积为4 mm×4 mm,整体版图如图6所示。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/172299.htm

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仿真结果如图7和图8所示,图7表明驱动环路能够稳定工作,图8的波形是75°/s(100Hz)输入角速度的输出波形,输出电压峰值为0.5V。

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5 结束语
电路是实现仪产业化的关键,文中设计了一种MEMS陀螺仪电路,并基于TSMC 0.35μm 2P4M工艺实现。MEMS陀螺仪的难点是系统分析,文中分析了闭环驱动稳定性,并设计了一个对传感器电容共模部分不敏感的CV转换模块,仿真显示MEMS陀螺仪整体工作正常,具体指标如表1所示。


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